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장비 및 시설 기본정보
웨이퍼 절단기 (다이싱 머신)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Disco |
| 모델명 | DAD3240 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-10-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 첨단방사선연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C107 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 반도체 웨이퍼상에 방사선 센서를 제작한 후 원하는 크기와 모양으로 반도체 웨이퍼를 절단하는 장비로서 웨이퍼 뒷면에 점착성이 있는 테이프로 웨이퍼를 고정하고 다이아몬드 커터로 웨이퍼를 절단하는 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201511/201511051540448.jpg |
| 장비위치주소 | 첨단방사선연구소 방사선기기연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-11-205842 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059196 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |