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장비 및 시설 기본정보
마스크용 미세자동조정 전극형성장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 브이티에스 |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-10-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C508 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 고효율 태양전지에 응용되는 단위 박막을 제조할 수 있는 장비로서 하나 또는 구개의 RF 주파수를 이용하여 태양전지에 조시된 빛을 최대한 많이 수집하고 필요에 따라 밴드갭 조절이 가능한 양자점 박막과 emitter, collector 박막을 증착할 수 있으며 또한 댕글링본드의 최소화하여 태양전지의 효율을 증대시킬수 있는 패시베이션 절연막 a-Si:H, SiO2, SiNX 박막을 제조할 수 있는 기능이 있는 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201511/2015111095749156.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 충북테크노파크 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-11-205889 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059228 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |