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레이저 증착용 진공챔버

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보유기관명	자동차부품연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C521
표준분류명
시설장비 설명	레이저 이용하여 박막 증착을 위한 진공 챔버 시스템 본 장비는 자동차부품연구원에서 보유하고 있는 로핀 레이저 시스템을 이용하여 박막 증착 및 코팅 등 각종 시험을 수행하기 위한 것으로서 챔버는 외부에 레이저가 투과 가능한 창을 가지고 있어야 한다. 또한 적절한 진공도가 유지 되어야 하며 진공도 및 센서가 부착되어야 한다. 진공 챔버는 Diode-Pumped Nd:YAG 레이저를 사용하여 다양한 레이저 증착 공정을 수행해야한다. 외부에서 레이저가 진공 챔버안으로 투과 될수 있도록 특별한 구성이 이루어 져야한다. 1) MAIN CHAMBER UNIT 2) SUBSTRATE SYSTEM (지그) 3)PUMPING SYSTEM 4)TURBO PUMP & CONTROLLER라이볼드361박막 증착 및 코팅 등 각종 시험을 수행 -레이저를 이용한 진공 코팅 -Diode-Pumped Nd:YAG 레이저를 사용하여 다양한 레이저 증착
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201207/.thumb/20120716110013.jpg
장비위치주소	충남 천안시 동남구 풍세면 용정리 74번지 자동차부품연구원 연구1동 F1
NFEC 등록번호	NFEC-2013-02-175474
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0034184
첨부파일

기업조회