- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
가스공급장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Edwards |
| 모델명 | GFS-6M |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-10-25 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)에이티에스엔지니어링 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C613 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | GAS FLOW SYSTEM으로 당사 크린공장내에 설치한 CLEAN BOOTH는 사용하는 시약들이 자외선등을 차단하도록 구성되어 있으며 내부조명도 YELLOW LAMP로 사용시약PR류를 자외선으로부터 격리시키며 각 시험설비들의 N2 GAS를 FLOW해주며 약액등에서 발생하는 유해 GAS를 FLOW되도록 구성되어 있다.ㅇ F.F.U : 220V 1∮ 16CMM - 12 SET/ HEPA-Filter 570 X 1170 X 75T ㅇ Structure : Booth전용 AL-Profile AL-복합 PNL ㅇ 출입구: Folding Curtain (U.V 차단용1.3TYellow) ㅇ Sliding Door 1개소 추가 ㅇ Wall 소재 : Anti-Static Sheet (U.V 차단용1TYellow) ㅇ Controller : F.F.U Dual-Mode Digital 차압계 (자동 알람기능) 풍량조절(H/M/L) 가능 HEPA ㅇ 조 명 : Yellow Lamp (GE28W) - 12 EA ㅇ 기 타 : 매립형 콘센트이동식 Foot-Master 부착 ㅇ 청정도 : Class 1000 Guarantee독립된 공간으로 포토공정용 실험영역에 사용하여 유해가스를 배출하며 자외선을 차단 설비들의 GAS를 공급한다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201211/.thumb/20121107092819.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 성남시 중원구 상대원1동 442-13 중일아인스프라츠 F3 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174111 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035277 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |