| 보유기관명 |
에이엠씨(주) |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
F500 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
장비 본체 힘을 측정하는 sensor 조작을 위한 조이스틱 섬세하게 조작을 위한 광학 현미경으로 구성되어 있으며 pull testwire pullvector pull die shear ball shear등 사용자가 원하는 조건으로 평가가 가능한 장비임.System accuracy: +/- 0.1% Hardware resolution: 16Bit Step back accuracy: +/- 1um on shear +/- 0.25um on BS25 XY table travel: 160x160mm(Optional 300x210mm)
Z-axis travel :75mm Y-asix max.force : 200kg(Standard)실리콘 웨이퍼와 유리기판을 감광성 고접착 필름으로 본딩 한 후에 실리콘 웨이퍼와 유리기판의 접착력을 전단응력으로 test하는 용도이며 실리콘 유리기판 이외의 device에서도 사용가능하나 크기나 응력의 힘에 따라 센서 및 지그가 필요함. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/20140501131533492.jpg |
| 장비위치주소 |
충북 음성군 금왕읍 도청리 497번지 에이엠씨(주) 에이엠씨(주) 혁신관 2층 측정장비실 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2014-05-187147 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0044428 |
| 첨부파일 |
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