펜필터유닛시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 신성이엔지 |
모델명 | 모델명없음 |
장비사양 | |
취득일자 | 2014-02-26 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국광기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C609 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 클린룸 파티클 유지 장비로 클래스 100~100000 (0.3마이크로) 구성 사용 필터 울파 다풍량 필터 사용 기본 클린룸 시설 구축시 함께 구축 별도 단독 활용 불가 클린룸 시설 활용자 공동활용 장비EBM MOTOR 1) 기본사양 - 전원 : 230VAC - 주파수 : 50/60Hz - 스피드 : 1420min-1 - 풍 량 : 2530㎥/h 2) 장착필터 : hepa filter- 연구환경제어시스템 - 클린룸사용자 공동활용 - 클래스 유지 범위 (클래스 100~100000) - 사용공간 개별제어 가능 - 파티클 기준 : 0.3 마이크로 - 기류분포 제어 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201406/.thumb/20140620145221277.png |
장비위치주소 | 광주 북구 월출동 971-35 한국광기술원 실험동 1층 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-06-189325 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0043616 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |