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장비 및 시설 기본정보
플렉시블 OLED용 진공증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 셀코스(Selcos) |
| 모델명 | CETUS OL100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-05-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경희대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C508 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 OLED 소자 제작을 위해 열증착법을 이용하여 유기물 및 metal을 진공증착하기 위한 장비로 encapsulation 공정의 동시 진행이 가능하며 co-deposition이 가능하다. 열증착법을 이용하여 유기물 및 금속을 진공증착하기 위한 장비로 진공상태에서 기판을 로딩하여 OLED소자를 제작할 수 있으며 유기물 증착시 Co-Deposition이 가능하여 다양한 OLED소자제작에 활용될 수 있다.구성및성능 - Substrate size : 100mm±0.05mmX100mm±0.05mm (t : 0.3~1.1mm±0.02mm) Tag glass can be handled with special Jig. - Loading capacity : Glass 1EA - Chamber type : Square & Vertical - Plasma type : ICP - Plasma source : RF Power - Output : 300 W - Frequency : 13.56 MHz - Power supply and Matching box 일체형 With Matching network - Hi-vac. pump : TMP ( ~400L/sec ) - Low-vac. pump : Rotary pump - Process Pressure : ≤ 5.0×E-6 torr/min (2시간이내) - MFC : Ar : 200 sccm O2 : 50 sccm N2 : 200 sccm - Pressure Control : Auto pressure control by Throttle Valve With Baratron gauge - Vacuum gauge : Full range gauge활용분야 유기물 및 Al 전극 증착 · Work size : 100mm × 100mm · PT chamber : Ar O2 N2 · Organic chamber : low temp. cell : 5ea high temp. cell : 1ea · Metal chamber : metal boat 2ea |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/2013080914958228.JPG |
| 장비위치주소 | 경기도 용인시 기흥구 덕영대로 1732 (서천동) 멀티미디어관 B1 경희대학교 산학협력단 멀티미디어관 지하1층 108 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-086125 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0018236 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |