| 기업공감원스톱서비스

건식 스크러버

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	(주)엘디스
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C609
표준분류명
시설장비 설명	반도체제조공정에서 발생하는 유해가스 등을 안전하게 처리할 수 있는 흡착식 가스처리장치 흡착제 교체비용 저렴 - 흡착제 자체 개발 및 생산으로 원가 절감 및 신속한 공급 System 완료 Gas 처리 효율 극대화 - 안적적이고 높은 흡착 성능으로 운전비 절감 By-Pass Canister 설치 - By-Pass 상태에서 유해Gas 정상 처리 가능 Canister 내부 온도 감지 장치 - Canister 내부 과열 반응 감지 효율적인 압력 관리 - Inlet Pressure Warning Alarm Interlock 장치 TFT Touch Monitor 및 PLC 장착 - 전체 System 자동화 및 손쉬운 조작 기능 제공 Compactly Design - 적은 설치 면적 System 간편화 - 유지보수 용이 함
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110127140035.JPG
장비위치주소	경기도 수원시 영통구 이의동 936-10 나노소자특화팹센터
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-139083
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024906
첨부파일

기업조회