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장비 및 시설 기본정보
전자빔증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)울텍 |
| 모델명 | Temescal |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-06-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비의 특징 반도체 소자를 제작하기 위해서는 각종 금속물질의 박막을 적층해야 한다. 이 때 여러 방법으로 금속박막을 적층할 수 있는데, 전자빔 증착기는 전자빔으로 원료물질을 용융시키고 이로부터 발생한 증기를 우리가 원하는 기판에 노출하여 금속막을 증착하는 장비이다. 전자빔을 사용하여 도가니 안에 담긴 원료물질만 국부적으로 가열하므로 불순물이 적게 함유된 금속막을 증착하는 것이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201110/20111019164915.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전기연구원 17연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-11-076314 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053306 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |