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장비 및 시설 기본정보
로드락 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Aja International |
| 모델명 | Loadlock Upgrade for ORION-8_HV(AJA model LL-C-U) |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-01-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C600 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 Load lock chamber 및 pump point Sample loading unit으로 구성되어 있다. Load lock chamber는 알루미늄으로 만들어졌으며 One pumping port 및 One(1) viewport (o-ring sealed) Vent port sample transfer port Loading arm & gauge port 및 Hinged door로 구성되어 있다. Pumping unit에서는 Turbo pump (Pfeiffer Model 70liter/sec) Rotary pump (200liter/min) Gate valve (8" CF manual) Multi-range gauge module unit (CC-10 Model) Angle valve & vacuum bellows set 및 Vent valve로 구성되어 있으며 Sample loading unit에서는 Magnetic transfer unit (600mm travel length) Sample fork & Inconel substrate (4 inch dia.) 및 Support zig로 구성되어 있다. AJA load lock system은 1 X 10^-6 이상의 고진공 환경을 10분 이내에 만들 수 있는 system으로써 박막 증착 시 소요되는 시간을 획기적으로 줄임으로써 박막 생산에 응용 시 효율성을 극대화 시킬 수 있다.나노카본의 합성을 위한 금속박막 증착과 디바이스 전극 구현을 위해서 사용되고 있다.과제명: 구조제어에 의한 고기능 복합제 제조기술 개발 주관기관명: 한국과학기술연구원 연구책임자: 김구대 과제번호: 2E21663 (30101) 본 장비는 박막 증착시 이용되는 Load lock system으로써 박막 증착시 효율적으로 박막을 증착할 수 있다. 본 장비는 Load lock chamber 및 pump point Sample loading unit으로 구성되어 있다. Load lock chamber는 알루미늄으로 만들어졌으며 One pumping port 및 One(1) viewport (o-ring sealed) Vent port sample transfer port Loading arm & gauge port 및 Hinged door로 구성되어 있다. Pumping unit에서는 Turbo pump (Pfeiffer Model 70liter/sec) Rotary pump (200liter/min) Gate valve (8" CF manual) Multi-range gauge module unit (CC-10 Model) Angle valve & vacuum bellows set 및 Vent valve로 구성되어 있으며 Sample loading unit에서는 Magnetic transfer unit (600mm travel length) Sample fork & Inconel substrate (4 inch dia.) 및 Support zig로 구성되어 있다. AJA load lock system은 1 X 10^-6 이상의 고진공 환경을 10분 이내에 만들 수 있는 system으로써 박막 증착 시 소요되는 시간을 획기적으로 줄임으로써 박막 생산에 응용 시 효율성을 극대화 시킬 수 있다. 나노카본의 합성을 위한 금속박막 증착과 디바이스 전극 구현을 위해서 사용되고 있다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110802113008.jpg |
| 장비위치주소 | 전북 완주군 봉동읍 은하리 산101번지 전북분원 한국과학기술연구원 전북분원 연구동 2층 R1233 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-08-146858 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029596 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |