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장비 및 시설 기본정보
원자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | PSIA Co.,Ltd. |
| 모델명 | XE-150 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 대기중에서 원자단위 해상도로 3차원적인 표면 이미지 및 특성을 측정함 resolution - vertical : 0.01 ~ 0.05 um Lateral : 0.1 ~ 0.2 nm Scan size : xy 100um z 12umMeasurement Technology Tapping mode in air Non-contact mode Contact mode AFM Phase imaging Lateral force (friction) microscopy (LFM) Lift ModeVertical resolution : 0.01-0.05 nm Lateral resolution : 0.1-0.2 nm 최대 Scan Size : X,Y 100um, Z 12um Microscope : X500, 1um resolution |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/D89840FF41AC455349256EC10030A812.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104동 (반도체공동연구소) 2층 L3 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-016710 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0003295 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |