| 보유기관명 |
한국과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
B520 |
| 표준분류명 |
시험 |
| 시설장비 설명 |
에피박막 (epitaxial thin films)의 결정구조 분석을 위한 장비 * In-plane 과 out-of-plane 격자 상수 및 tilt 구조 평가 * 역격자 공간에서의 2차원 매핑 (RSM) * 박막과 기판의 구조적 coherency 평가 * 박막 및 다층박막의 정확한 두께 분석 (10 nm ~ 200 nm; <1% error) * 온도 변화(RT ~ 1100oC)에 따른 상전이 연구 |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201302/20130218223942161.jpg |
| 장비위치주소 |
한국과학기술원 W8-1/중앙분석센터 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-02-176226 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0037028 |
| 첨부파일 |
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