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장비 및 시설 기본정보
친환경 플라즈마 질화/코팅 복합시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Rubig |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-06-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C527 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 진공상태에서 전기적인 여기 상태에서 플라즈마를 발생하여 환경친화적인 가스를 최소량 활용하여 질화와 DLC코팅을 진행할 수 있는 복합장비임. 최근 6가 크롬도금의 규제가 진행중인데 이를 산질화, DLC코팅으로 대체 가능하도록 할 수 있는 장치임 특히 생기원 개발 완료한 침탄대체 신속질화 공정과 침류질화공정 등을 탑재할 예정이며, 신규 프리커서를 이용한 다양한 기능성 코팅의 개발도 진행될 예정임 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201507/2015071014338788.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 공장동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-07-203784 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00819 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |