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장비 및 시설 기본정보
반도체 패러미터 분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Keithley Instruments |
| 모델명 | 4200-SCS/F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-01-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 반도체 소자의 전기적인 특성을 정밀하게 측정하는 장치임. 트랜지스터의 전기적 특성등구성및성능 1. SMU 모듈 4개 2. 펄스제너레이터 등 활용분야 반도체 트랜지스터의 ID-VG 특성 반도체 소자의 전기적 특성을 정밀하고 측정하고 분석할 수 있으며 사용자 편의성을 높인 것을 특성으로 하는 분석장치. DC 측정과 펄스 측정 실시간 plotting 기능이 있으며 높은 정밀도와 fA (femtoamp) 이하의 측정 분해능을 가짐. 장비 자체에 Windows 로 구동되는 PC 와 대용량 저장장치가 내장되어 있어 데이터의 획득에서 분석까지를 모두 수행할 수 있는 종합 분석장치임. 현재 모듈에는 4개의 SMU (souce-measure unit) 가 포함되어 있으며 스트레스 측정 및 펄스 측정을 위한 펄스 제너레이터가 옵션으로 포함되어 있음. 활용분야 1. 반도체 소자 측정 2. 웨이퍼의 패러미터 측정 및 웨이퍼 레벨의 분석 3. 패키징된 소자의 특성평가 4. 기타 광소자의 전기적 특성평가 5. 전자재료 특성평가 6. 나노소자의 특성평가 7. MEMS 소자 특성평가 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110207180628.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 장동 100 한국화학연구원 11연구동 1층 109 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-07-082266 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008955 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |