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보유기관명	한국원자력연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	1) 특징 - 사용 절차를 간소화시킨 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)으로써, 저배율 관찰용으로 적당함. - 핵물질 취급 시설 내에서 핵물질 시편을 간편하게 관찰하는 용도로 사용함. - 핵물질 시편 사용으로 인하여, 챔버 내가 오염될 수 있음. 따라서 비핵물질 시편은 가급적 사용하지 않음. 2) 구성 및 성능 - 진공챔버, 챔버 내 스테이지, 터보펌프 등으로 구성됨. - 최대 분해능 15nm - 배율 x50 ~ x15,000 (양질의 이미지는 x3,000 ~ x5,000) - 가속전압 5kV ~ 20kV 3) 사용 방법 - 챔버 내의 스테이지에 전기전도가 가능하도록 백금코팅 등의 방법으로 적절하게 처리된 시편을 올려놓고, 진공 상태에서 시편에 대한 미세관찰을 수행함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110121142548.jpg
장비위치주소	한국원자력연구원 본관동
NFEC 등록번호	NFEC-2010-07-080446
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054023
첨부파일

기업조회