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스프레이 에처

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보유기관명	(주)미코엠에스티
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C510
표준분류명
시설장비 설명	ITO 증착된 웨이퍼 혹은 강화유리에 ITO를 식각하는 장비이다. 기판은 회전할 수 있는 지그에 진공으로 잡히고 회전하며 회전 rpm은 각 조건에 따라 조절 가능하다. ITO 식각 용액은 스프레이 방식으로 분사되며 기판의 회전에 의해 반응이 모두 일어난 용액은 밖으로 흘러 나오게 되어 있다.스프레이 되는 노즐은 3개가 있으며 한개는 ITO 식각 용액이 연결되어 있으며 또 다른 하나는 식각 후 세정을 위해 DI water를 흘려주는 노즐이 연결되어 있다. 또한 기판을 잡기 위한 척이 스프레이 노즐 아래에 설치되어 있으며 회전을 하고 기판을 진공으로 잡아준다.- 강화 유리에 증착된 두께가 얇은 ITO 식각 - 각종 금속 박막(Cr Al Au 등: 시각 용액 변경 필요) - 산화실리콘 막 등 - 미세막의 미세 패턴 형성을 위한 식각에 가용 가능함
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/20130827133236392.jpg
장비위치주소	경기 안성시 대덕면 모산리 505-5 (주) MiCo MST 본사 1층
NFEC 등록번호	NFEC-2013-08-182365
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039874
첨부파일

기업조회