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프로브스테이션

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보유기관명	삼성전기
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C514
표준분류명
시설장비 설명	해당 장비의 특징은 웨이퍼 혹은 웨이퍼에 준하는 제품의 전기적 특성을 측정하기 위한 장비로 웨이퍼 프로빙을 가능하게 하는 장비로서 세계 tier 1 회사인 cascade사에서 제작된 장비이다.해당 장비 구성은 마이크로 프로버 고해상도 현미경 및 미세한 건물의 진동을 잡아 줌으로서 측정의 신뢰도 및 정밀도를 향상 시킬수 있는 진동테이블로 구성된다. 성능은 200mm 웨이퍼 측정 테이블 DC~RF 및 열신뢰성 테스트 우수한 EMI 특성을 보유하고 있는 고주파용에 적합한 성능을 구현할수 있는 장비이다.사용예는 고주파 시편을 해당 장비의 측정대에 놓고 진공으로 측정 시편을 고정한 후에 시편의 입출력 위치에 프로브를 위치 시킨 후 프로브의 슬라이딩 컨택을 통하여 고주파 측정을 실시한다
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110121155020.JPG
장비위치주소	삼성전기
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-134957
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0022813
첨부파일

기업조회