| 시설장비 설명 |
특징 원자간력 현미경 (Atomic Force Microscope AFM)은 시료와 탐침의 원자 사이에 작용하는 힘을 검출하여 이미지를 얻는다. 원자 사이에 작용하는 힘은 모든 물질에서 작용하기 때문에 전자나 전기를 이용하는 STM이나 SEM과 달리 전도성 물질로 코팅을 하거나 진공 상태로 만드는 등 시료의 전처리 과정 없이도 모든 고체 시료를 용이하게 볼 수 있다. 최소 1 um × 1 um부터 최대 40 um × 40 um의 면적을 Non-contact Contact Tapping 세 가지 mode로 측정 가능하다. Non-contact mode는 시료와 탐침의 원자 사이의 인력(반 데르 발스 힘)를 검출하고 Contact mode는 원자 사이의 척력을 검출하며 시료에 손상을 가할 수 있는 Contact mode의 한계를 극복한 방식이 Tapping Mode이다. 시료 표면의 단차 phase image roughness grain size를 확인 할 수 있다. 또한 heating stage를 이용하여 온도에 따른 시료 표면의 morphology 변화를 측정할 수 있다. |
