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장비 및 시설 기본정보
베이크오븐시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 화인테크노 |
| 모델명 | FT-7400-WC |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-11-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 에스케이하이닉스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C602 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | □ Bake Oven System - Bake Oven System 용 Wafer Cassette Jig - Memory Retention 검증用 High Temp 2-Zone Bake Oven (Temp Spec : 25 ~ 400℃)- 장비사양 1)power supply : 220VAC, 3Ph, 60Hz, 25KVA 2)Temp Range : RT℃ ~ 400℃ 3) Temp Control Accuracy : ±0.5℃, Temp Unifomity : ±2℃ of the set point 4) Temp Rise Time (RT℃ ~ 400℃) : Within 120min or Less- 온도에 따른 신뢰성 특성 분석 - Embeddedd flash 개발을 위한 Cell, Chip의 data Retention test, Reliability(HTST) 등. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201312/.thumb/2013120316147913.PNG |
| 장비위치주소 | 충북 청주시 흥덕구 향정동 하이닉스반도체청주사업장 흥덕구 대신로 215 SK 하이닉스 SK하이닉스 P&T2 4F 4층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-12-184291 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041920 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |