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장비 및 시설 기본정보
초고진공 분자선증착장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Riber |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-08-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 초고진공 상태에서 III-V족 화합물반도체(GaAs InAs InP InSb등의 모든 III-V족)와 강자성 금속(Fe Co Ni Pd)등의 단결정 박막을 성장할 수 있는 증착장치이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201303/2013031816462166.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-177020 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0038551 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |