| 보유기관명 |
한국기계연구원 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
F804 |
| 표준분류명 |
기타 |
| 시설장비 설명 |
특징 백색광 간섭 방식은 분해능이 서브나노부터 옹스트롬에 이를 정도로 미세한 측정이 가능함. 상기의 물품은 초미세 형상을 옹스트롬 단위의 분해능으로 삼차원 측정하는 측정기로서 백색광 간섭의 원리를 사용하고 있음. 또한 분해능이 높음에도 단일 파장의 레이저를 사용하지 않고 백색광을 사용하므로 측정영역도 5mm에 달하여 펄스 가공에 의한 깊은 구멍도 측정 가능함. 구성및성능 (1) Measurement technique : Non-contact three-dimensional Scanning white light Interferometer with FDA (2) Measurement capability : Three-dimensional surface profile measurements (3) Field of view measurement : From 0.06 to 5.64 mm (4) Imaging zooming : 0.4x 0.5x 0.8x 1x 1.3x 2x (5) Lateral resolution : 0.67 to 4.72 um (6) Light source : Tungsten halogen source or White Light (7) Vertical measurement range : 0.1nm to 5mm (8) Vertical resolution : 0.1nm (9) Scan speed : Up to 10.5um/sec (10) Step height accuracy : ≤0.75% (11) Step height repeatability : ≤0.1% 활용분야 - 반도체 웨이퍼 상의 선폭 측정 - 미세 가공 형상의 삼차원 측정 |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161018131837_200702072293 NFEC-2004-03-044408.jpg |
| 장비위치주소 |
한국기계연구원 연구14-D동 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2004-03-044408 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0057743 |
| 첨부파일 |
|
