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진공증착기

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보유기관명	인하대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C503
표준분류명
시설장비 설명	본 진공증착기는 Cryogenic Pump를 사용해 10-7 Torr이하에서 4인치급 기판위에 금속 및 유기박막을 정밀 증착할 수 있는 장비임. 장비 내에는 2개의 메탈소스와 3개의 메탈소스를 구비하고 있으며 이들 동시에 증착할 수 있는 기능을 가지고 있음. 기판의 온도범위는 상온에서 150도까지 변화시킬 수 있음. 박막균일도를 유지하기 위한 rotating head를 가지고 있음.[1] 진공도: 10-7 Torr 이하 [2] 5개의 소스 [3] rotating head [4] 4인치급 웨이퍼 장착가능 [5] 히터를 가지고 있어 기판온도를 조절할 수 있음.. 사용할 수 있는 소재로는 금속(골드 알루미늄 크롬 은 틴 등이 있으며) 현재 유기반도체 소재 증착에 최적화되어 있음.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/20131007165458567.jpg
장비위치주소	인천 남구 용현1,4동 인하대학교 253 인하대학교 2호관 5층 2북566
NFEC 등록번호	NFEC-2012-07-167279
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0034137
첨부파일

기업조회