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장비 및 시설 기본정보
프루브 스테이션 (Cascade)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cascade Microtech |
| 모델명 | REL-6100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 정보통신용 부품중 Wafer를 이용하여 제작하는 모든 chip부품의 전기적 광학적 특성을 측정하기 위한 장비로 Wafer상의 미세한 패턴에 탐침 프루브를 이용하여 광학 현미경으로 관찰된 형상에 탐침 프루브와 연결하여 특성을 측정하는 미세한 위치 제어 기능을 가진 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201309/2013091014258232.jpg |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 8동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-05-026840 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050830 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |