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장비 및 시설 기본정보
Seed Layer 형성용 건식박막증착시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | Magnetron Sputtering System |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-02-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | Substrate(Size & Capacity) : 6 inch, 1 Substrate Vacuum(Ultimate Pressure) : ≤１×10-6 Torr Uniformity(Thickness Uniformity) : ≤±5%@20,000Å(ZnO) within 6 inch PET film |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201403/201403041414395.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 인천지역본부 송도TP D |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-03-186183 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0042120 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |