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장비 및 시설 기본정보
유전층 코팅 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엘립소테크놀러지 |
| 모델명 | SPSR3663C |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-04-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C209 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 특징 본 잗비는 반도체 표면에 물질을 증착 할 수 있는 장비이다. Ion gun에서 나온 이온들이 증착하고자 하는 물질(target)을 때려서 나오는 타겟 물 질이 샘플 표면까지 확산되어 표면에 증착된다. 또한 dual wavelength ellipsometer를 이용하여 증착되는 물질의 두께를 정확하게 제어할 수 있 다. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131008164311981.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 정보통신공학부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2004-02-044280 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0049509 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |