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장비 및 시설 기본정보
Eximer laser compex205
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Lambda Physik |
| 모델명 | Compex205 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1998-06-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A410 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | ▶ Laser annealing system의 High-pulse-energy laser 발생장치 ● SiC wafer를 Laser anneal하여 Graphene 성장시킬 때 필요한 Laser 발생장치 ● 화학기상분위기에서 Metal template위에 Graphene을 성장시킬 때 필요한 Laser anneal용 |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131010111053533.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 금호관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2004-02-044287 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0006880 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |