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장비 및 시설 기본정보
전자빔 증착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크㈜ |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-07-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 전자총 증착장비는 각종 유기물 및 무기물을 전자빔을 열원으로 하여 원하는 기판이나 물질에 원하는 두께만큼 증착하는 장비로서 반도체 및 금속등의 증착이 가능한 진공장비이다. 주로 금속전극을 증착할때 많이 사용하는 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201508/2015080592732573.jpg |
| 장비위치주소 | 첨단방사선연구소 방사선기기연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-08-204124 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0058037 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |