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장비 및 시설 기본정보
DC&RF 스퍼터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 포올(Forall) |
| 모델명 | AURORA-150R |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 전북대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | . 본 장치는 플라즈마 전원장치로 직류 및 라디오 주파수를 개별 혹은 동시에 인가할 수 있는 구조로 되어 있어 전원특성에 따른 다양한 박막을 얻을 수 있는 이점이 있다. . 효율적인 타깃(Target)의 식각형상(Erosion profile)을 가지도록 시뮬레이션 및 공정을 통한 최적의 자석배열구조를 구현(식각효율:35%이상) . 최대 섭씨 500도까지 상승이 가능한 고온히터를 장착하여 증착할 수 있음. . 공정 시 자동으로 공정압력을 임의의 설정 값에 준하여 조절될 수 있도록 자동압력조절밸브(APC:Auto Pressure control)를 부착하여 WTW(Wafer to Wafer) RTR(Run to Run)간 공정 재현성 갖도록 하였다. . 고품질(무결점의 치밀박막)의 박막을 얻을 수 있도록 타깃과 시편홀더와의 간격(TS거리)을 임의로 조절하여 최적의 거리를 설정 할 수 있도록 하였다. . 최적의 박막두께 균일도(Uniformity)를 확보 할 수 있도록 시편홀더 하부 척(Chuck)을 박막 증착 시 회전을 할 수 있도록 하였다. . 금속 및 비금속(세라믹)물질의 박막증착도 가능하도록 전원구성을 하였다. (금속물질:DC전원 비금속 물질:RF전원) |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/20131022131951411.jpg |
| 장비위치주소 | 579-841 전북 부안군 하서면 백련리 신재생에너지로 20-32 신재생에너지소재개발지원센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-167949 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0032642 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |