| 시설장비 설명 |
특징 1. 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 극히 미세한 탐침을 시료표면 가까이 가져갔을 때 생기는 원자간의 상호 작용력을 측정함으로써 시료표면의 3차원적 형상을 알아내는 장비임. 2. 광학현미경의 배율이 최고 수천 배이고 전자현미경(SEM)의 배율은 최고 수십만 배인데 비해서 원자현미경의 배율은 초고 수천만 배로서 개개의 원자까지도 관찰할 수 잇는 분해능력을 가지고 있음. 3. 전자현미경(SEM)과 투과식 전자현미경 (TEM)은 진공 상태에서 2차원 형상만 측정 할 수 있는데 비해 원자현미경은 시료표면의 전처리 과정없이 즉 도체 반도체 및 부도체에 상관 없이 3차원 형상을 측정 하므로써 폭 높이 각도 거칠기 등 3차원 정보를 얻을 수 있음. 4. 진공 대기 중 뿐 아니라 액체 내에서도 작동하므로 살아있 는 세포의 구조나 세포 분열 등을 관찰 할 수 있으며 또는 시료의 전기적 자기적 물리적 특성 물질 상호 반응 현상 측정 및 미세한 시료 표면 형 상의 변형(Nanolithography Nanomanipulation) 기능도 갖고 있음. 5. 마이크로 매니퓰레이션 기술개발 과제에서 수행하고 잇는 마이크로 부품 조 립의 심화과제로서 나노 기능성 분자 및 DNA와 같은 생체고분자의 매니퓰레이션에 필수적인 장비임. |
