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장비 및 시설 기본정보
회전코팅기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 티에스티아이 |
| 모델명 | Smart Cube-MS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-03-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Spin Coater는 Lithographic 공정을 수행함에 있어 master위에 UV에 반응하는 Photo resist를 도포하는데 사용하는 장비이다. 현재 실험실 수준 의 장비의 경우는 최대 4~8인치의 크기에만 국한되어있어 다양한 분야, 특히 급속도로 발전하고 있는 전기 전자분야인 TFT-LCD 분야의 대면적 기 술에 적용하기에는 불가능하다. 따라서, 대면적의 마스터위에 원하는 두께 및 균일도를 유지하면서 박막을 형성할 수 있는 대면적 Spin Coater 가 반드시 필요할 것이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/20150115141029147.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 금형기술센터 부천테크노파크 쌍용3차 301동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-01-195854 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048312 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |