| 시설장비 설명 |
이 장비는 Sample 표면의 형상 특히 단차(두께) 및 거칠기 등을 측정하고 기록하는 장치로 높은 정밀성과 재현성을 등을 요구하는 정밀 측정 분야나 연구용으로 많이 사용되고 있는 표면 단차(두께) 측정기 이다. 또한 이 장비는 Piezo Scanner를 이용한 장비로 높은 정밀성과 재현성을 갖추고 있으며 Sample 표면의 형상을 3차원 형상화 할 수 있어 표면의 두께 및 거칠기 뿐만아니라 형상까지 볼 수 있는 우수한 성능의 표면단차 및 형상측정기이다. a. 5Å의 재현성을 가지고 있는 우수한 성능의 단차측정기 b. 1Å의 Resolution과 Stage Tilting 기능 보유 c. 최대 524um 까지 측정 가능한 Vertical Range(Z) d. 3-D Rendering S/W(SPIP) 탑재로 표면 형상 측정 가능 e. 100mm x 100mm Long Scan 측정 가능 f. 0.1mg~10mg까지 변환(Programmable) 가능한 Stylus Force Range로 Hard한 Film 뿐만아니라 Soft한 Film도 Sample의 손상이 없어 측정이 가능함 |
