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장비 및 시설 기본정보
헬륨 누설 검출기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Inficon |
| 모델명 | UL-1000Fab |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-06-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 주성엔지니어링(주) |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 진공상태에서 누설 감지 진공펌프와 가스 감지센서 본 장비는 진공챔버 내부로 침투해 들어가는 헬륨의 양을 측정하여 챔버의 진공 충실도를 검사하는 진공시험장비로서 장치 구성품으로는 HLT 560 Helium leak detector Moving cart for Helium leak detector PT 445 415 AVC 025SA Angle valve (DN25KF) Flexible metal hose (2m) 등이 있다. 본 헬륨 검출 장비는 검출 가능 최소 누출량이 5x10-12 mbar l/s 이하이고 검출 가능 가스는 4He 3He H2 등이며 반응 시간은 0.5초이다. 1차 펌프의 Pumping 속도는 5 m^3/h이며 Detector의 무게는 44kg 소비 전력 400W의 성능 및 특성을 가지고 있다. 본 장치는 진공관련 장치의 누출 여부를 판단하고 진공 충실도 검사가 필요한 곳에 사용되는 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201206/.thumb/20120619120452.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 광주시 오포읍 능평리 49 주성엔지니어링(주) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-06-165555 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0033246 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |