| 보유기관명 |
한양대학교 ERICA캠퍼스 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C501 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
판체 형상의 바닥판(1)과; 대상물이 얹혀지는 이동판(2)과; 상기 바닥판과 이동판 사이의 가장자리에 설치되고 높이가 조절되어 이동판(2)의 Z축변위 및 기울기를 조절하는 3개 이상의 변위조절수단(3)과 상기 바닥판과 이동판 사이의 중앙에 설치되어 이동판의 기울기를 조절하는 틸팅조절수단(4)과; 상기 변위조절수단(3)들 사이에 설치되어 Z축변위 및 기울기가 조절된 이동판(2)을 고정시키는 클램핑수단(5);을 포함하여 구성되되 상기 변위조절수단(3)은 얇은 변형판(31b)에 의해 지지대(31a)들 사이에 승강 가능하게 설치된 변위몸체(31c)로 구성된 변위지지체(31)와 상기 변위몸체(31c)의 하부에 설치되어 전원을 공급받아 구동되어 변위몸체(31c)를 승강시키는 엑츄에이터(32)와 상기 변위몸체(31c)와 이동판(2) 사이에 설치되어 이동판(2)을 지지하는 틸팅힌지(33)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 미세정렬장치.
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| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/2013082314304531.jpg |
| 장비위치주소 |
경기도 안산시 상록구 사3동 한양대학교 안산캠퍼스 제5공학관 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-07-166367 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0033823 |
| 첨부파일 |
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