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비소 분해장치

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보유기관명	한국표준과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B0
표준분류명
시설장비 설명	분자서 박막 증착 장비 (MBE)에 장착된 부속픔으로 독립적으로는 활용이 불가하며 증착원인 As4를 As2로 분해하여 흡착율을 배가시키는데 사용됨. 약 500-900 oC 온도에서 구동되며 증착원이 기판에 흡착을 증가시켜 결함을 감소시킴과 동시에 낮은 flux에서도 성장률을 향상시킬 수 있음. 초고진공의 MBE 성장장비에만 사용이 가능하며 As 증착원의 용량은 500 cc로 장기간 사용이 가능하여 초고진공을 장기간 유지할 수 있는 이점이 있음.약 500-900 oC 온도에서 구동되며 증착원이 기판에 흡착을 증가시켜 결함을 감소시킴과 동시에 낮은 flux에서도 성장률을 향상시킬 수 있음. 초고진공의 MBE 성장장비에만 사용이 가능하며 As 증착원의 용량은 500 cc로 장기간 사용이 가능하여 초고진공을 장기간 유지할 수 있는 이점이 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110125144256.jpg
장비위치주소	한국표준과학연구원 신소재동
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-141638
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0023902
첨부파일

기업조회