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장비 및 시설 기본정보
원자탐침현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 파크시스템스 |
| 모델명 | NX10 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-12-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서강대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A208 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 미소삼차원형상이나 여러 가지 물리량분포를 관찰할 수 있어 폭넓게 사용되는 장비임. - 수 나노미터(nm)정도의 미세구조의 금속, 반도체, 유기 물질 등의 표면관찰. - Si 웨이퍼, 광학부품, 박막 등의 정밀 가공 표면 측정. - 전자현미경으로 관찰하기 어려운 절연시료(고분자, 유기박막) 관찰NX10 Complete AFM system - Completely decoupled flexure-guided XY scanner XY scan range : 50μm × 50μm (closed-loop) Z scan range : 15μㅡ Primary resonant frequency > 9kHz SLD wavelength : 830nm, SLD coherent length : ~50μm - Sample mount Sample size : 50 × 50mm, Sample weight : 500g - Motorized XY stage Stage travel range : 20mm ×20mm, Stage resolution : 0.08μm - Motorized Z stage Stage travel range : 25mm, Stage resolution : 0.08μm - Motorized focus stage for on-axis optics Stage travel range : 15mm, Stage resolution : 0.5μm - Direct on-axis optics with high resolution CCD and integrated LED illumination - NX control electronics ○ NX mode options Scanning ion conductance microscpy(SICM) head, Conductive AFM, EFM starter Kit, Liquid probehead, Open liquid cell, MFM starter kit○원자탐침현미경은 대기, 용액, 진공 등의 다양한 실험환경뿐 아니라 도전성, 절연성등과 관계없이 시료표면의 구조를 관찰 할 수 있음. - Si 웨이퍼, 광학 부품, 박막 등의 정밀가공 표면의 거칠기 측정(단면형상계측)이 가능함. - 전자현미경으로도 관찰하기 어려운 절연시료(고분자, 유기박막, 세라믹)을 관찰하는데 용이함. - 대기 중, 배양액 중의 생체시료 관찰. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201412/.thumb/20141223154323833.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 마포구 신수동 서강대학교 1번지 서강대학교 떼이야르관(TE관) 2층 218 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-12-194596 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0047384 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |