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장비 및 시설 기본정보
전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Topcon |
| 모델명 | SM-200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 범용 전자현미경으로 10 nm 분해능을 가지고 있으며, 반도체 등의 표면 및 계면의 구조, 범용 전자현미경으로 10 nm 분해능을 가지고 있으며, 반도체 등의 표면 및 계면의 구조, 형상 등을 분석하는데 활용됨. TMP를 사용하여 고진공 챔버 내에 시편을 장착하므로, 시편 장착 후 약 5-10분이 소요되며, 각종 이미징 S/W를 구비하고 있어서, 다양한 모드에서 사진을 얻을 수 있는 범용 전자현미경이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110125143445.jpg |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 신소재동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-141378 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KRISS-00015 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |