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장비 및 시설 기본정보
초정밀 레이저 연마 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Coherent |
| 모델명 | DIAMOND C-55L |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-11-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C210 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 이 장비는 CO2 laser를 이용하여 초정밀 국소연마를 하는 장치 이다. Galvamometer를 이용하여 광섬유 끝단 면을 X축 Y축의 mirror를 컨트롤 하여 원하는 형상을 가공할 수 있으며 또한 vision을 이용하여 광섬유의 가공 형상을 측정 할 수 있다. 이러한 특성을 이용하여 반도체 유전체 및 금속등의 다이싱 스크라이빙 드릴링 뿐만 아니라 반도체 디스플레이 각종 광회로 소자등의 마스크 리페어 및 바이오 기술 등에 응용이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201212/.thumb/20121204174555.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 오룡동 광주과학기술원 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 1층 105호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-12-173457 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0036046 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |