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장비 및 시설 기본정보
이온 도핑 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼한진공개발 |
| 모델명 | Ship-4T-220D |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C511 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 저압에서 도핑하고자 하는 물질을 플라즈마상태로 만들어 웨이퍼에 인가된 전위차에 의한 에너지로 웨이퍼 표면에 얇은 깊이로 불순물이 주입됨. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110126142941.gif |
| 장비위치주소 | 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-137505 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0024350 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |