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장비 및 시설 기본정보
씨브이디
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Applied Materials |
| 모델명 | P-5000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-09-25 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 충북테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 구성 및 성능 - 6" wafer & 2 Chamber -process Temp :24 ~450 도 -Process Press : 100mTorr -Gas : Ar Os N2 Btmsm |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/2014040292835985.jpg |
| 장비위치주소 | 충북 청원군 오창읍 양청리 685-3 (재)충북테크노파크 첨단IT산업관(D동) 1층 109 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-118308 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0019260 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |