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장비 및 시설 기본정보
집속 이온 빔 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | FEI |
| 모델명 | Quanta 3D |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-09-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 매우 가늘게 집속한 이온빔을 재료표면에 주사하여 발생한 전자/원자를 검출하여 현미경상을 관찰하거나 재료표면을 가공하는 용도로 쓰인다. 갈륨이온빔을 시료표면에 조사하면 2차 전자가 발생하여 시료를 구성하는 원자를 튕겨내는 스퍼터링(sputtering)현상이 발생한다. 이 2차이온을 센서로 검출하고 2차원분포를 구하여 시료표면의 현미경상을 관찰할 수 있고, 스퍼터링 현상을 가공에 응용한다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201604/20160406143021598.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기초과학지원연구원 서울센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-07-203869 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KBSI_SLC-00114 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |