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장비 및 시설 기본정보
에어베어링 스테이지(2축)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Aerotech |
| 모델명 | ABL15020-M-10-NC-LT20AS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-10-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C311 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ○차세대광학부품의파면/형상측정및표준화를위한초정밀에어베어링스테이지 -차세대광학부품의파면및형상측정을위한회절소자제작/평가용에어베어링스테이지로사용 -기존동심원CGH에이어차세대광학부품으로각광을받는hybridtype회절소자를선행연구/개발하여표준화하고자함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201410/2014102894713153.jpg |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 응용물리동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-11-192874 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050575 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |