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장비 및 시설 기본정보
가전로봇부품제작 소형노광장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스시스템 |
| 모델명 | MDA-400M |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-02-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 이동로봇 소형 부품(MEMS) 개발 위한 노광장치구성 및 성능 1. Light source module - UV Lamp power : 350W - Near UV light source : 350nm to 450nm - 365nm Intensity : max 25 mW/cm2 - Max. Beam Size : 4" X 4" 2. Microscope - Dual CCD zoom Microscope - Magnification : 80X ~ 1000X - Working distance : 86 mm / 32 mm - Field of View : 69 mm ~ 0.03 mm - Depth of Field : 2.98 mm ~ 0.03 mm 3. Stage and controller module - Alignment Accuracy : 1.0 micron 4. Resolution - Vacuum Contact : 1um - Hard Contact : 1.5um - Soft contact : 2um - 20um Proximity : 5um활용분야 소형로봇 부품개발 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/2013091318327922.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 대촌동 958-3 광주테크노파크 가전로봇센터 2층 206-1 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-07-080861 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0018716 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |