| 시설장비 설명 |
특징 질소 분위기에서 소자를 제작할 수 있는 장치 수분이나 산소 이산화탄소 등에 민감한 물질을 취급할 때 산화 및 오염을 방지하기 위해 상자 내부를 질소나 아르곤으로 환경으로 유지하고 작업을 위해 고무장갑이 부착되어 있는 상자형 장치. 유기반도체 재료는 대기 중에서 다루어지는 경우 산화에 따른 오염 및 훼손의 위험이 있음. 이러한 문제를 해결하기 위해 대기와 차단할 수 있는 실험장치가 필요함. 또한 대기 중의 수분이나 산소에 민감한 알카리 토금속류의 금속재료를 기판에 증착시키기 위해서는 일반적인 대기 중에서의 취급은 불가능하며 질소나 아르곤 분위기에서 취급해야만 하므로 이 장치는 이러한 용도로 활용할 수 있는 장비로써 재료의 보관 및 전 후처리 공정에 필수적인 장치. 특징으로는 특화된 밀폐기술로 상용품 중 가장 낮은 누출속도 0.001vol%/h 특화된 기체정화기술로 우수한 정화효율 실현 전체적인 Stainless Box 로 부식저항성 강화실현 빠른 수분과 산소제거 등이 있음. |
