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장비 및 시설 기본정보
초정밀 식각 증착 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan |
| 모델명 | 682.HA |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 신소재 물리 화학 반도체 재료공학 금속 고분자 나노 등 기초소재 연구를 하기위해 필요한 장비로서 투과전자현미경 또는 주사전자현미경 관찰 시에 필수적인 사용이 요구되는 장비임.1. The precision etching coating system is a completely self-contained compact bench-top ion beam based etching and coating instrument. 2. It is designed to each and/or sputter coat samples for scanning electron microscopes (SEM or high resolution FESEM) transmission electron microscopes (TEM) and light microscopes (LM)producing large clean viewable areas. 3. Complementing the PECS is the addition of an iodine RIBE system for improve sputtering/ cleaning capabilities providing a measurable increase in etching rates as compared to argon ion beam etching. 3. The instrument can still be used for conventional argon gas etching an alternative gas (Inert) as well as iodine gas etching. Switching from iodine to argon or an alternative gas is done in a matter of second by a 4-way valve mounted to the front panel. 4. Etching times with the RIBE were consistently lower than argon ion beam etching times for similar samples. Result indicate the iodine RIBE is capable of producing SEM specimens of higher quality and in less time as compared to argon ion Beam etching. 5. It is quick and highly efficient employing single-function manual controls for easy operation making it especially user-friendly to new inexperienced users. 6. Automatic load calibration and auto zero adjustment function. 7. The system must be registered to the ISO 9001 of the highest level standard. 1. Ion source 1) Number of source : Three ion gun 2) Ion source type : Penning type 3) Beam energy : 1 KeV - 10 KeV or higher 4) Beam density : 10 mA/㎠ per source or more 5) Driving gas : Argon 6) Beam Diameter : 5mm FWHM or bigger 7) Gas throughput : Argon at 0.1cc/minute/gun- 투과/주사 전자현미경 관찰시 준비 장비로서 활용할 예정임. - 인근 대학교 및 연구기관과 연계하여 본 연구원 특성에 맞는 분야 활용. - 본 장비는 전자현미경연구에 없어서는 안 될 기본 장비이며 타 기관의 장비는 임차하기가 매운 어려운 실정임. - 과제 수행에 필요한 장비임에도 주변에 구축되어 있지 않으며 한국 내 연구소에 약 33대의 본 장비를 보유하여 사용을 하는 등 DGIST의 연구장비로 연구 수행에 반드시 필요한 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201304/.thumb/20130418132658826.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 1층 102 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-04-177824 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0037347 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |