| 시설장비 설명 |
과제명 : 풀스펙트럼광 이용 고효율 태양전지 기술 개발 주관기관 : 한국과학기술연구원 과제번호 : 5010004 연구책임자 : 김경곤 가. 증착 Rate가 0.1Å/Sec이하의 범위내에서 정밀 CONTROL이 가능 나. 해당되는 각각의 공정 (증착두께 : 5Å ~ 2㎛)에 따라 증착 가능, 증착 FILM에 대한 박막의 THICKNESS UNIFORMITY (±2.5 % AT 25mm x 25mm 16 Sheets)가 우수함. 다. 상온~850℃(기판 실제온도)까지 급속하게 HEATING (850℃기준 20초 이내) 할수 있음. 라. CHAMBER의 개폐는 전면 FULL OPEN DOOR 또는 FULL OPEN SLIDING DOOR를 장착하여 사용이 편리하며 추후 CHAMBER를 GLOVE BOX내에 취부하여 사용할 수 있도록 설계 및 제작 마. A.C POWER SUPPLY는 SOURCE 2 SETS를 SELECT하여 사용할 수 있음. 바. Main chamber와 시편 loading chamber는 분리하여 저 진공 형성 가능하여, main chamber의 진공을 유지 한 채 시편 교환이 가능함. 사. 추후 glove box와 연결 가능하도록 설계되어 있음. |
