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장비 및 시설 기본정보
소자 패키징 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | ㈜엠오텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-10-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 대기 속에서 불안정한 물질을 취급하기 위해 알곤 분위기로 채워진 박스안에서 반도체, 센서 및 박막전지를 위한 전극 및 활물질을 증착가능 한 열증착 장비와 패시베이션을 위한 투습과 산소투과 방지효과를 갖는 parylene 이라는 고분자 물질이 증착가능 한 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201610/2016102718481534.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-10-212595 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062524 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |