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프로버

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보유기관명	한국나노기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C514
표준분류명
시설장비 설명	광반도체 소자의 전기적 광학적 특성을 측정하는 장치이다. 프로버(Prober) : 웨이퍼를 자유롭게 이동할 수 있어서 웨이퍼의 칩들이 자동적으로 테스트하여 양품/불량품으로 자동 분류하여 주는 보조 테스트 시스템ㆍWafer size : 2inch ~ 6inch ㆍWafer type : Vertical type LED Lateral type LED ㆍWavelength : Wavelength : 200nm~950nm ㆍTact time : Max. 0.3sec/chipLED wafer 및 chip의 광학적 전기적 특성을 할 수 있다. Semi automatic 측정 장치로써 Tact time이 빠르기 때문에 wafer 전체를 측정하여 각 chip들의 특성을 확인할 수 있다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110901175405.jpg
장비위치주소	경기도 수원시 영통구 광교로 109 (이의동) 한국나노기술원 한국나노기술원 한국나노기술원 2층 후공정
NFEC 등록번호	NFEC-2009-10-079106
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017646
첨부파일

기업조회