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장비 및 시설 기본정보
나노임프린트 묘화 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 한국기계연구원 |
| 모델명 | ANT-6H |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-11-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C519 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 열을 이용한 Thermal nano imprint 공정과 UV nano imprint 공정을 동시에 또는 각각 행 할수 있는 hybrid type의 장비로써 Polymer의 Glass Transition Temperature를 이용하여 1:1전사를 할 수 있는 장비 이다. 이때 Mercury lamp를 이용한 UV노광 도 연동이 가능하여 빛에 감응하는 고분자 솔루션을 이용할 수 있다. - 압착 기법을 이용하게 됨으로써 1:1전사 기법중 가장 중요한 샘플간의 contact이 완벽해지며 UV의 Deflection Dispersion 의 영향이 줄어 들어 나노 패터닝이 가능하다. - 스탬프의 사이즈에 영향을 받지 않으며1inch to 6inch 크기의 기판까지 나노임프린트 공정이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927105228.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-173981 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035107 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |