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장비 및 시설 기본정보
전극용 진공증착 System(In-Line 유무기 복합 증착 장비)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 알파플러스 |
| 모델명 | Vacuum chamber module 외 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-01-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경북대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C508 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 금속 무기물 및 유기물 재료를 증착하여 다층박막을 형 성시킬 수 있는 기판 용 진공 증 착 장비구성및성능 * Vacuum chamber module * Vacuum module * Substrate pretreatment module * Magnetron sputtering module * Gas delivery module * Auto pressure module * Effusion cell module * Thickness monitoring module (INFICON XTC3 grade) * Glove box module * System control module * Frame and control rack 활용분야 * 무기물 및 유기물 재료를 이용하여 다층박막을 형성 * AOD(all organic display)구현 * flexible 기판의 수분(H2O) 및 산소(O2) 등 기체차단막 증착 * 투명전극막 증착 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110830171336.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 북구 산격3동 경북대학교 1370 경북대학교 공대8호관 1층 106 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-07-058139 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009042 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |