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장비 및 시설 기본정보
차세대 의료영상 센서 개발용 챔버설비 구축
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 소로나 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-02-05 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 특징 -본 기자재는 방사선 영상센서 분야에서 첨단 미래 기술로 각광받고 있는 고효율 방사선 센서 개발용 설비 -E-beam 및 3-thermal source를 활용하여 CdTe CZT 등 새로운 고효율 방사선 센서를 위한 공정기술 개발을 목적으로 함2. 구성및성능 -프로세스 챔버모듈 진공모듈 가스배관 모듈 -Substrate Size : Round type(6" 4" Piece) -Substrate Material : Si or glass -Target Composition : Cd Zn Te -E-beam source 및 3 thermal source -Deposition thickness : up to ~수백 ㎛ -High vacuum chamber : Electro-polished Grade -High vacuum pumping with cryo pump and under 5e-7 Torr within 60min after vacuum break -Substrate revolution and rotation speed : 0∼60 rpm -Mains and safety elements with emergency shut-down -Removable evaporation shields for ease of cleaning with one set of spare evaporation shields3.활용분야 CZT/CdTe Solid state 방사선 영상센서 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201207/.thumb/20120727175705.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 안산시 상록구 사동 1271-19 한국전기연구원 안산분원 제1연구동 1층 109 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-07-058201 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009061 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |